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  • 產品名稱: 納米定位平台
  • 產品型號: NS-RB8-01納米擺角台
  • 瀏覽次數: 987

納米位移係統的應用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學設備、半導體設備到各種高新技術行業。納米位移係統能夠產生和測量優於納米(nm)的位移,整個係統包含3部分:納米位移台、控製器和控製軟件。

納米位移台是一種機械裝置,內部有一個或多個壓電陶瓷,由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。三英設計和製造的納米位移台使用柔性鉸鏈將技術將運動裝置連接到固定基座上。納米位移台內置精密傳感器,閉環控製時,三英的傳感器技術在保證線性度的前提下,可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。

控製器為納米位移台提供電源。在閉環控製時,納米位移台內部的傳感器為控製器提供位移數據。控製器周期性的處理位移數據並修正輸出電壓信號,從而使位移數據與指令數據相同。

三英提供簡單易用的軟件。納米位移係統通常作為大型設備的一個部件,因而納米位移係統與其他硬件良好配合是相當重要的。三英控製器對外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控製納米位移台的位移。還可以通過USB接口和數字IO實現與控製器的通信。三英控製器內部軟件實現了基於PID算法、陷波濾波器的閉環控製,內部集成了正弦波、方波和三角波的波形發生器。

如有客戶需求,三英可以對納米位移運動控製係統進行量身定製,以提供及時、滿意的技術支持與服務。

 

型號

NS-RB8-01

運動軸

Tip-Tilt

傳感器類型

電容式

閉環行程

8mrad

閉環分辨率

0.05μrad

線性度

0.5%

無載諧振頻率

3500Hz

驅動電壓

-30~+150V

電纜長度

2m

連接器類型

D-sub15

位移台材料

鋁合金

最大負載

3inch Mirror

體積

130 x 130 x 94.5mm

 

          NS-RB8-01尺寸圖

產品名稱

納米定位平台

產品型號

NS-RB8-01

交貨期

 

 

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