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  • 產品名稱: 壓電驅動平台
  • 產品型號: PPX-32壓電驅動平台
  • 瀏覽次數: 855

產品描述

 

PPX-32為長行程XY壓電平台,高度14mm。四個預裝滾珠保證平穩和穩定運動,負載10 N。利用一個多相位的壓電馬達實現高速(> 2 mm / s)和高推力(> 2 N)。PPX-32可用於線性開環或直線編碼器。可實現閉環10納米的分辨率。適用真空(10:9 mbar)環境。PPX-32兼容mmc - 100和mmc - 110控製器。

 

行程:18x18mm

最大負載:1kg

最大速度:2 mm/s

分辨率:1nm

雙向可重複性:+/- 50nm

單向可重複性:50nm

編碼器選擇:模擬信號,數字信號

 

產品規格:

 

運動特性

行程[mm]

18 x 18

直線度/平麵度[µm]

± 2.5

傾斜[µrad]

± 200

偏航[µrad]

± 100

重量[g]

40

 

電機特性

電機

壓電電機, PM-002

最大速度[mm/s]

2 (MMC-100), 5(MMC-110)

 

反饋特性

編碼器

無(開環)

模擬(1 Vpp)

數字(RS-422)

典型分辨率[nm]

1

10

1

雙向重複性[nm]

n/a

± 50

± 50

單向重複性[nm]

n/a

50

50

精度[µm]

-

± 1

± 1

 

負載特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

最大負載

1

1

10

0.6

0.6

0.6

產品名稱

壓電驅動平台

產品型號

PPX-32

交貨期

 

 

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